Французская компания Riber, ведущий мировой поставщик оборудования в области молекулярно-лучевой эпитаксии (MBE) для осаждения кристаллов в полупроводниковом производстве, в одной из своих систем использует вакуумные подшипники и направляющие от производи
Французская компания Riber, ведущий мировой поставщик оборудования в области молекулярно-лучевой эпитаксии (MBE) для осаждения кристаллов в полупроводниковом производстве, в одной из своих систем использует вакуумные подшипники и направляющие от производителя HepcoMotion (штаб-квартира компании находится в Великобритании).
Решение от HepcoMotion заменило собственную разработку River, которая оказалась ненадежной. Это позволило компании Riber обеспечить предварительную загрузку системы без какого-либо люфта в механизме, гарантируя оптимизированную возможность повторения с высоким уровнем надежности, отсутствовавшего до настоящего времени.
В процессе MBE, используемом в производстве электронных устройств, кремниевые пластины, должны занимать в камере высокого вакуума очень точное положение. Сам по себе этот процесс предъявляет особые требования, связанные с точностью и плавностью движения, с необходимостью работы при 10-9 мбар. Стандартные вакуумно-совместимые системы часто работают только в условиях до 10-6 мбар.
Когда перед инженерами компании Riber была поставлена задача найти замену применяемой системе позиционирования, они обратились к вакуумным подшипникам размера 34 фирмы HepcoMotion. Полностью выполненные из нержавеющей стали, эти подшипники уже хорошо зарекомендовали себя в вакуумных установках до 10-6 мбар. Для возможности применения при более высоких показателях , необходимой Riber, HepcoMotion использовала в герметичных подшипниках специальную вакуумную смазку. Это позволяет продукту работать без сбоев в более высоких вакуумах в течение длительных периодов.
Компания Riber теперь имеет высоконадежное решение, которое дает возможность изменять фрикционное сопротивление в соответствии с применяемой нагрузкой и поддерживать высокий уровень точности. Система с низким коэффициентом трения является жизненно важной, если необходимо избегать фреттинг-коррозии, когда нержавеющие стали эффективно взаимодействуют друг с другом. Любое загрязнение внутри камеры может поставить под угрозу процесс и привести к потере пластин. Только V-образная направляющая от HepcoMotion V смогла обеспечить уровень надежности , необходимый компании Riber в этой сфере применения.

 

 

 


 
Оставить комментарийВаше имя: Текст комментария: Проверочный код: